據(jù)日本媒體報(bào)道，一種輕軟勝于鴻毛，能貼在肌膚上的可穿戴式傳感器，由東京大學(xué)工學(xué)系研究科教授染谷隆夫等人開發(fā)成功。該傳感器為薄膜狀，單位面積的重量只有3g/m2。據(jù)稱，重量只有普通紙張的1/27左右。而且，厚度也只有2μm。由于又輕又薄，可以減輕貼在皮膚上的不適感，因此染谷等人希望能將其用作可持續(xù)計(jì)測人體信息的醫(yī)療及健康用傳感器。

在薄膜基板上集成有機(jī)TFT

醫(yī)療及健康用途的傳感器及電子電路，迄今一直使用以硅(Si)為主的硬質(zhì)電子材料制作。但對于直接接觸人體肌膚的部分等，使用輕柔材料以消除裝上異物感的部件備受期待。

于是，染谷等人確立了在厚度僅1.2μm的塑料薄膜基板上制作用來讀取傳感器信號的TFT陣列的技術(shù)，開發(fā)出了與該TFT陣列和壓力傳感器元件相結(jié)合的薄膜壓力傳感器。為了在耐熱性較低的薄膜基板上直接形成TFT陣列，TFT采用了有機(jī)半導(dǎo)體，并將制造工藝溫度控制在了100℃以下。有機(jī)半導(dǎo)體層及電極層是采用基于蒸鍍罩(Shadow Mask)的真空蒸鍍法形成的。